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陜西精密設(shè)備件材質(zhì)必須極為細致均勻，并經(jīng)適當處理以消除內(nèi)部殘余應力,保證高度的尺寸穩(wěn)定性,防止加工后發(fā)生變形。
加工設(shè)備要有極高的運動精度，導軌直線性和主軸回轉(zhuǎn)精度要達到0.1微米級,微量進給和定位精度要達到0.01微米級。對環(huán)境條件要求嚴格，須保持恒溫、恒濕和空氣潔凈，并采取有效的防振措施。
加工系統(tǒng)的系統(tǒng)誤差和隨機誤差都應控制在 0.1微米級或更小。這些條件是靠綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服系統(tǒng)和計算機控制等各種先進技術(shù)獲得的。
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