半導(dǎo)體專用 無(wú)氧氮?dú)夂嫦?真空干燥箱 ppm級(jí)別650升

半導(dǎo)體專用 無(wú)氧氮?dú)夂嫦?真空干燥箱 ppm級(jí)別650升

一、產(chǎn)品概述：

       適用于航空、汽車、工礦企業(yè)、家電、實(shí)驗(yàn)室、科研單位及大專院校等領(lǐng)域?qū)ζ洚a(chǎn)品及材料進(jìn)行高溫烘烤、溫度干燥、低真空密封試驗(yàn)、無(wú)氧處理，高溫去應(yīng)力、高溫固化等應(yīng)用。

二、運(yùn)行（工作）原理：

1、操作屏設(shè)定工作真空度與溫度值，控制系統(tǒng)發(fā)出指令電磁閥與真空泵自動(dòng)工作，到達(dá)設(shè)定壓力值真空系統(tǒng)停止工作，放氣電磁閥自動(dòng)打開(kāi)解除真空。

2、當(dāng)溫度未達(dá)到設(shè)定值時(shí)繼續(xù)給加熱器系統(tǒng)指令，加熱板溫度到達(dá)后可選擇保溫，保溫終了，當(dāng)設(shè)定值小于測(cè)量值時(shí)，控制器給冷卻循環(huán)系統(tǒng)指令，自動(dòng)降溫開(kāi)始，到達(dá)設(shè)定值是保持或者繼續(xù)降溫。

二、技術(shù)參數(shù)：

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• 型號(hào)	GZF-6630
  產(chǎn)品名稱	高溫真空烘箱
  控溫范圍	RT+15～400℃
  溫度分辨率	±0.1℃
  溫度波動(dòng)度	±0.3℃
  傳感器精度	±0.1℃
  溫度均勻度	±5℃
  氧氣含量	在線檢測(cè)范圍1ppm~25%
  氧氣精度	0~1000ppm±1ppm，1%~25%±0.1%
  真空度控制范圍	0-99.99KPa
  設(shè)計(jì)極限真空度	10Pa
  升溫速率	1~5℃/min
  降溫速率	0.5~3℃/min
  工作室尺寸（深*寬*高）	680mm*680mm*1370mm
  外部尺寸（深*寬*高）	約980mm*1600m*1620mm（不含腳輪）
  外殼材料	優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板，表面靜電噴塑
  內(nèi)膽材料	優(yōu)質(zhì)SUS316L不銹鋼板
  擱  板	標(biāo)配12塊，最大負(fù)20Kg，
  加熱功率	25000W
  電  源	AC380V/50HZ

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• 四、產(chǎn)品持點(diǎn)：

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• 1、 自動(dòng)抽真空：通過(guò)PLC繼電器來(lái)控制自動(dòng)抽真空，且實(shí)現(xiàn)延時(shí)抽真空及定時(shí)開(kāi)關(guān)機(jī)。

• 2、 抽氣管路裝有電磁閥?？稍O(shè)置定時(shí)開(kāi)啟真空泵，自動(dòng)抽氣，定時(shí)停機(jī)功能。

• 3、 高精度微電腦PLC程序控溫儀，具備12個(gè)溫度模塊控制通道，溫度獨(dú)立控制，采用PID與經(jīng)驗(yàn)值模糊控制技術(shù)，控溫精確、波動(dòng)度小，工作溫度任意設(shè)定，數(shù)據(jù)記錄儲(chǔ)存，USB數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能，故障報(bào)警查詢功能。

• 4、 PLC界面具備選擇固定值的溫度與真空度模式與分段保溫或者溫度斜率控制模式兩組。

• 5、 各通道運(yùn)行溫度、真空度、時(shí)間自動(dòng)記錄，可查詢，可USB拷貝

• 6、 R485/232通訊協(xié)議與通訊接口（可選用以太網(wǎng)口連接通訊，對(duì)接上位機(jī)系統(tǒng)）

• 7、 數(shù)字獨(dú)立限溫保護(hù)，接地保護(hù)，漏電保護(hù)，真空泵過(guò)熱保護(hù)，循環(huán)電機(jī)過(guò)載保護(hù)。